Scienta DA30 能量分析器
闭循环制冷样品台,最低温度7 K
单色化氦灯光源
单色化X射线源(Al Kα)
5轴样品台
样品直接电流加热
配备反射式高能电子衍射RHEED
RHK R9 控制器
掩模样品台
配备等离子体源
RHK R9 plus 控制器